发明名称 PHOTORESIST APPLYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01191147(A) 申请公布日期 1989.08.01
申请号 JP19880016174 申请日期 1988.01.26
申请人 NEC CORP 发明人 TAKEDA RYOICHI
分类号 G03C1/74;G03F7/16 主分类号 G03C1/74
代理机构 代理人
主权项
地址
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