| 发明名称 |
SOFT X-RAY LITHOGRAPHIC SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2191308(B) |
申请公布日期 |
1989.07.26 |
| 申请号 |
GB19870006213 |
申请日期 |
1986.07.18 |
| 申请人 |
* SHIMADZU CORPORATION |
发明人 |
HIDEKI * MAKABE;KENJI * IWAHASHI |
| 分类号 |
G03F7/20;G21K1/06;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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