发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01179329(A) 申请公布日期 1989.07.17
申请号 JP19880000913 申请日期 1988.01.05
申请人 NEC CORP 发明人 SHIBATA TETSUO
分类号 H01L21/326;H01L21/56 主分类号 H01L21/326
代理机构 代理人
主权项
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