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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01179329(A)
申请公布日期
1989.07.17
申请号
JP19880000913
申请日期
1988.01.05
申请人
NEC CORP
发明人
SHIBATA TETSUO
分类号
H01L21/326;H01L21/56
主分类号
H01L21/326
代理机构
代理人
主权项
地址
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