发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01173712(A) 申请公布日期 1989.07.10
申请号 JP19870333436 申请日期 1987.12.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MURAKISHI TAKEO;ARIMA HIDEKAZU
分类号 H01L21/225 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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