发明名称 EXAMINATION METHOD FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH01169938(A) 申请公布日期 1989.07.05
申请号 JP19870333572 申请日期 1987.12.24
申请人 SHARP CORP 发明人 ISHITSUKI NORIYOSHI
分类号 G01R31/28;G11C29/00;G11C29/44;H01L21/66;H01L21/822;H01L21/8247;H01L27/04;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
地址