发明名称 FORMATION OF CARBON FILM
摘要
申请公布号 JPH01162757(A) 申请公布日期 1989.06.27
申请号 JP19870321004 申请日期 1987.12.18
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 OGATA KIYOSHI;ANDO YASUNORI
分类号 C23C14/06;C23C14/48 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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