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发明名称 ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01154436(A) 申请公布日期 1989.06.16
申请号 JP19870312883 申请日期 1987.12.10
申请人 SONY CORP 发明人 KONISHI MORIKAZU
分类号 H01J37/08;H01J27/26 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
主权项
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