发明名称 |
PROCESS FOR PREPARING TARGET MATERIAL FOR SUPERCONDUCTING FILM |
摘要 |
Lors de la préparation d'un matériau cible pour un film supraconducteur par un procédé de pressage à chaud, une atmosphère sous vide est remplacée par une atmosphère de gaz inerte contenant de 0,1 à 10 % en volume d'oxygène et présentant une pression de 1 à 100 Torr à une température déterminée allant de 350 à 700°C pendant l'étape d'augmentation de la température, et le matériau à fritter est maintenu dans l'atmosphère de gaz inerte pendant une durée allant de 1 à 10 heures. Ce procédé permet d'obtenir un matériau cible de composition homogène et exempt de déformations permanentes. |
申请公布号 |
WO8904816(A1) |
申请公布日期 |
1989.06.01 |
申请号 |
WO1988JP01148 |
申请日期 |
1988.11.15 |
申请人 |
MITSUBISHI KINZOKU KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TAKESHITA, TAKUO;SUGHIHARA, TADASHI |
分类号 |
C23C14/34;C01G1/00;C01G3/00;C04B35/00;C04B35/45;C04B35/645;C04B41/87;C23C14/08;H01B12/00;H01B12/02;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):C04B35/00;H01L39/12 |
主分类号 |
C23C14/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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