发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01128527(A) 申请公布日期 1989.05.22
申请号 JP19870286901 申请日期 1987.11.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UOOCHI YASUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/768 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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