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发明名称 VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01128518(A) 申请公布日期 1989.05.22
申请号 JP19870286908 申请日期 1987.11.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGITA MASAO;INOUE SHINICHI;TSUKUNE ATSUHIRO
分类号 C30B25/14;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
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