| 发明名称 |
APPARATUS FOR APPLYING DIELECTRIC OR METALLIC MATERIALS TO SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB8905949(D0) |
申请公布日期 |
1989.04.26 |
| 申请号 |
GB19890005949 |
申请日期 |
1989.03.15 |
| 申请人 |
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/317;C23C14/32;H01J37/32 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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