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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01107553(A)
申请公布日期
1989.04.25
申请号
JP19870264979
申请日期
1987.10.20
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
IKEDA TATSUHIKO
分类号
H01L21/76;H01L21/31
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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