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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01105530(A) 申请公布日期 1989.04.24
申请号 JP19870261544 申请日期 1987.10.19
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD 发明人 TOKUHARA SHINOBU
分类号 H01L21/66;H01L21/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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