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发明名称 PREPARING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 GB8905511(D0) 申请公布日期 1989.04.19
申请号 GB19890005511 申请日期 1989.03.10
申请人 BRITISH TELECOMMUNICATIONS PUBLIC LIMITED COMPANY 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/205;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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