发明名称 TECHNOLOGIC POSITION FOR SUBSTRATE PROCESSING ON SEMICONDUCTOR PRODUCTION
摘要
申请公布号 CS263218(B1) 申请公布日期 1989.04.14
申请号 CS19860009708 申请日期 1986.12.22
申请人 RASKA STANISLAV ING.,CS 发明人 RASKA STANISLAV ING.,CS
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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