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发明名称 FABRICATION OF THIN FILMS
摘要
申请公布号 GB8904564(D0) 申请公布日期 1989.04.12
申请号 GB19890004564 申请日期 1989.02.28
申请人 BRITISH AEROSPACE PLC 发明人
分类号 C23C14/46;H01J37/317 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
主权项
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