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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0191445(A) 申请公布日期 1989.04.11
申请号 JP19870248079 申请日期 1987.10.02
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHINOHARA MAMORU
分类号 H01L29/08;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L29/08
代理机构 代理人
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