发明名称 SOFT LANDING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6481218(A) 申请公布日期 1989.03.27
申请号 JP19870237914 申请日期 1987.09.22
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO COMPUT ENG CORP 发明人 HASEGAWA KOICHI;NANAMI HIROSHI
分类号 G05D3/12;H01L21/22 主分类号 G05D3/12
代理机构 代理人
主权项
地址