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经营范围
发明名称
SOFT LANDING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS6481218(A)
申请公布日期
1989.03.27
申请号
JP19870237914
申请日期
1987.09.22
申请人
TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO COMPUT ENG CORP
发明人
HASEGAWA KOICHI;NANAMI HIROSHI
分类号
G05D3/12;H01L21/22
主分类号
G05D3/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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