发明名称 PROJECTION TYPE EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6477124(A) 申请公布日期 1989.03.23
申请号 JP19880188433 申请日期 1988.07.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIYAUCHI TAKEOKI;MIZUKOSHI KATSURO
分类号 H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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