发明名称 EXPOSURE
摘要
申请公布号 JPS6471124(A) 申请公布日期 1989.03.16
申请号 JP19870227841 申请日期 1987.09.11
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SEKIYA TOMOJI
分类号 H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027;H01S3/101 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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