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发明名称 CONNEXION FOR TIME BEHAVIOUR OF ELECTRIC SIGNAL AUTOMATIC EVALUATION IN A PROCESS OF PLASMO-CHEMICAL ETCHING
摘要
申请公布号 CS262611(B1) 申请公布日期 1989.03.14
申请号 CS19850008485 申请日期 1985.11.25
申请人 MARTISOVITS VIKTOR RNDR.CSC.,CS;MIKUS OLIVER RNDR.CSC.,CS;TRNOVEC JOZEF RNDR.CSC.,CS 发明人 MARTISOVITS VIKTOR RNDR.CSC.,CS;MIKUS OLIVER RNDR.CSC.,CS;TRNOVEC JOZEF RNDR.CSC.,CS
分类号 G06G7/18;H01H1/30;H01H1/36;H01L21/302;H01L21/66;H05H1/46;(IPC1-7):H01H1/36 主分类号 G06G7/18
代理机构 代理人
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