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发明名称 FORMATION OF FINE PATTERN
摘要
申请公布号 JPS6467918(A) 申请公布日期 1989.03.14
申请号 JP19870225029 申请日期 1987.09.08
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MATSUDA SHUICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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