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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6465876(A) 申请公布日期 1989.03.13
申请号 JP19870222087 申请日期 1987.09.07
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKAYAMA TAKEHIRO
分类号 H01L21/306;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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