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发明名称 ELECTRODE FOR PLASMA ETCHING
摘要
申请公布号 JPS6464324(A) 申请公布日期 1989.03.10
申请号 JP19870220283 申请日期 1987.09.04
申请人 DENKI KAGAKU KOGYO KK 发明人 TANJI HIROAKI;KADOTA KENJI
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01J37/305;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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