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发明名称 PRODUCTION OF III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6461390(A) 申请公布日期 1989.03.08
申请号 JP19870219452 申请日期 1987.09.01
申请人 NEC CORP 发明人 OKAMOTO AKIHIKO
分类号 H01L21/203;C30B23/08;C30B29/40 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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