| 发明名称 |
FREMGANGSMAATE FOR STYRING, OVER FAKTISK TID, AV SELEKTIVITETEN FOR ETSING, VED ANALYSE AV PLASMAGASSER I EN FREMGANGSMAATE VED REAKTIV IONISK ETSING OG REAKTOR FOR SAMME. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NO883704(A) |
申请公布日期 |
1989.02.21 |
| 申请号 |
NO19880003704 |
申请日期 |
1988.08.19 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE. SA L'ETUDE ET L'EXPLOITATION PROC G CLAUDE |
发明人 |
RUFIN, DENIS;HIRASE, IKUO |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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