发明名称 NEUES HALBLEITERGRUNDMATERIAL
摘要
申请公布号 DE3725700(A1) 申请公布日期 1989.02.16
申请号 DE19873725700 申请日期 1987.08.03
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE 发明人 BIRKLE, SIEGFRIED, DIPL.-CHEM. DR., 8552 HOECHSTADT, DE;KAMMERMAIER, JOHANN, DIPL.-PHYS. DR., 8025 UNTERHACHING, DE;SCHULTE, ROLF;WINNACKER, ALBRECHT, PROF. DIPL.-PHYS. DR.;RITTMAYER, GERHARD, DIPL.-PHYS. DR., 8520 ERLANGEN, DE
分类号 B01J19/08;C23C16/00;C23C16/26;H01L21/205;H01L21/365;H01L29/16 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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