| 发明名称 |
METHOD OF FORMING A NITRIDE LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0166216(B1) |
申请公布日期 |
1989.01.25 |
| 申请号 |
EP19850106365 |
申请日期 |
1985.05.23 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOYOTA CHUO KENKYUSHO |
发明人 |
ARAI, TOHRU;ENDO, JUNJI |
| 分类号 |
C01B21/06;C23C12/02;C01B21/082;C23C16/34;C23C16/36;C23C16/442;C23C16/448;F27B15/00;(IPC1-7):C23C16/34 |
主分类号 |
C01B21/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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