发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS648644(A) 申请公布日期 1989.01.12
申请号 JP19870164480 申请日期 1987.06.30
申请人 SHARP CORP 发明人 SHIOZAKI KOJI;OOTAKE HIROI;KOBA MASAYOSHI
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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