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发明名称 DEFLECTING OBJECTIVE FOR NEUTRAL PARTICLE BEAMS OF VARIABLE SHAPE, AND METHOD OF OPERATING IT
摘要
申请公布号 DE3378666(D1) 申请公布日期 1989.01.12
申请号 DE19833378666 申请日期 1983.09.12
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 PLIES, ERICH, DR. RER. NAT.
分类号 H01J37/147;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/147 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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