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发明名称 Apparatus and process for deposition of hard carbon films
摘要
申请公布号 USH566(H) 申请公布日期 1989.01.03
申请号 US19850804680 申请日期 1985.12.04
申请人 发明人
分类号 B01J19/08;C23C16/26;C23C16/509 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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