| 发明名称 | 利用微波的太阳能电池制造方法及太阳能电池制造装置 | ||
| 摘要 | 一种太阳能电池的制造方法，包括：在基底上形成第一电极；在所述第一电极上形成第一杂质掺杂半导体层；在所述第一杂质掺杂半导体层上形成非晶硅的第一本征半导体层；在所述第一杂质掺杂半导体层的上方形成第二杂质掺杂半导体层；在所述第二杂质掺杂半导体层的上方形成第二电极；以及照射第一微波，以通过晶化所述第一本征半导体层而形成微晶硅的第二本征半导体层。 | ||
| 申请公布号 | CN101790776B | 申请公布日期 | 2012.06.20 |
| 申请号 | CN200880104757.8 | 申请日期 | 2008.08.25 |
| 申请人 | 周星工程股份有限公司 | 发明人 | 林建默 |
| 分类号 | H01L21/205(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/205(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国 |
| 主权项 | 一种太阳能电池的制造方法，包括：在基底上形成第一电极；在所述第一电极上形成第一杂质掺杂半导体层；在所述第一杂质掺杂半导体层上形成非晶硅的第一本征半导体层；在所述第一杂质掺杂半导体层的上方形成第二杂质掺杂半导体层；在所述第二杂质掺杂半导体层的上方形成第二电极；以及照射第一微波，以通过晶化所述第一本征半导体层而形成微晶硅的第二本征半导体层，其中照射所述第一微波是在形成所述第二杂质掺杂半导体层之后直接执行的。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||