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发明名称 VIA IN AN INTEGRATED CIRCUIT AND PROCESS FOR PRODUCING SAME
摘要
申请公布号 EP0200525(A3) 申请公布日期 1988.11.09
申请号 EP19860303234 申请日期 1986.04.29
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 THOMAS, MAMMEN;KOYAMA, LINDA;LEVINSON, HARRY
分类号 H01L21/3205;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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