发明名称 CHARGED PARTICLE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS63221599(A) 申请公布日期 1988.09.14
申请号 JP19870052969 申请日期 1987.03.10
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAGAWA TAKAFUMI;NAKADA SHUHEI
分类号 H05H7/08;H05H13/04 主分类号 H05H7/08
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利