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经营范围
发明名称
PLASMA APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS63190299(A)
申请公布日期
1988.08.05
申请号
JP19870021303
申请日期
1987.01.31
申请人
TOKYO ELECTRON LTD;RIKAGAKU KENKYUSHO
发明人
ISHII NOBUO;TAKAYAMA NAOKI;KAWAMURA GOHEI;HARA TAMIO;HAMAGAKI MANABU;NANBA SUSUMU;AOYANAGI KATSUNOBU
分类号
H05H1/24;H01J37/32;H01L21/302
主分类号
H05H1/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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