发明名称 PLASMA APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS63190299(A) 申请公布日期 1988.08.05
申请号 JP19870021303 申请日期 1987.01.31
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;RIKAGAKU KENKYUSHO 发明人 ISHII NOBUO;TAKAYAMA NAOKI;KAWAMURA GOHEI;HARA TAMIO;HAMAGAKI MANABU;NANBA SUSUMU;AOYANAGI KATSUNOBU
分类号 H05H1/24;H01J37/32;H01L21/302 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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