| 发明名称 |
APPARECCHIO PER RACCOGLIERE WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT8821523(D0) |
申请公布日期 |
1988.07.27 |
| 申请号 |
IT19880021523 |
申请日期 |
1988.07.27 |
| 申请人 |
MITSUBISHI KINZOKU KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
SEIICHI ABE;YOSHITAKA SHIRATORI;TOMOYOSHI SAKAMOTO |
| 分类号 |
B28D5/00;B28D7/04;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
B28D5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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