Vacuum vapour deposition assembly with a rectangular vaporizer crucible and several elektron beam guns.

摘要

Verdampferanordnung für die Beschichtung von Substraten. Ein rechteckiger Verdampfertiegel weist einen Tiegelrand und eine längste Tiegelachse auf sowie eine Mehrzahl von Elektronenkanonen, die auf einer Seite der Tiegelachse derart angeordnet sind, daß ihre Strahlachsen parallel zueinander verlaufen und auf eine durch die Tiegelachse gehende senkrechte Ebene ausgerichtet sind. Auf der den Elektronenkanonen (8, 9, 10) gegenüberliegenden Seite des Tiegels (1) sind eine abwechselnde Reihenanordnung von Linearspulen (17, 18, 19) und dazwischen sowie an deren Enden befindlichen Polplatten (20, 21, 22, 23) angeordnet. Jeweils zwei an den Enden einer Linearspule (17) liegende Polplatten (20, 21) haben eine solche Lage zu einer jeweils gegenüberliegenden Elektronenkanone (8), daß die Strahlachse sich im wesentlichen in einer zwischen den besagten Polplatten liegende senkrechten Symmetrieebene befindet.