发明名称 FOCUSED ION BEAM COLUMN
摘要
申请公布号 EP0155283(B1) 申请公布日期 1988.06.22
申请号 EP19840903206 申请日期 1984.06.25
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 MCKENNA, CHARLES, M.;CLARK, WILLIAM, M., JR.;SELIGER, ROBERT, L.
分类号 H01J37/317;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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