发明名称 CONTRAST ENHANCEMENT LAYER COMPOSITIONS, ALKYLNITRONES, AND USE
摘要
申请公布号 EP0254221(A3) 申请公布日期 1988.05.04
申请号 EP19870110358 申请日期 1987.07.17
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 WEST, PAUL RICHARD;DAVIS, GARY CHARLES;REGH, KAREN ALINA
分类号 G03F7/095;C07C291/02;G03C1/00;G03C1/73;G03F7/09;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/02 主分类号 G03F7/095
代理机构 代理人
主权项
地址