发明名称 |
CONTRAST ENHANCEMENT LAYER COMPOSITIONS, ALKYLNITRONES, AND USE |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0254221(A3) |
申请公布日期 |
1988.05.04 |
申请号 |
EP19870110358 |
申请日期 |
1987.07.17 |
申请人 |
GENERAL ELECTRIC COMPANY |
发明人 |
WEST, PAUL RICHARD;DAVIS, GARY CHARLES;REGH, KAREN ALINA |
分类号 |
G03F7/095;C07C291/02;G03C1/00;G03C1/73;G03F7/09;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/02 |
主分类号 |
G03F7/095 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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