发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL WAFER
摘要
申请公布号 JPS6389500(A) 申请公布日期 1988.04.20
申请号 JP19860232140 申请日期 1986.09.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OKADO SHIGEO
分类号 C30B33/00;B28D5/04;B28D7/04 主分类号 C30B33/00
代理机构 代理人
主权项
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