发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING THIN METALLIC FILM
摘要
申请公布号 JPS6389659(A) 申请公布日期 1988.04.20
申请号 JP19860233522 申请日期 1986.10.01
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMAMOTO YOSHIAKI;SUZUKI SHIGEO;ANDO TOMOAKI
分类号 C23C14/20;C23C14/56 主分类号 C23C14/20
代理机构 代理人
主权项
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