发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPS6384072(A) 申请公布日期 1988.04.14
申请号 JP19860228558 申请日期 1986.09.26
申请人 AISIN SEIKI CO LTD 发明人 MOTOYAMA HIROSHI;NAGATA NOBUO
分类号 H01L29/84;H01L21/306 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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