| 发明名称 |
ILLUMINATING OPTICAL DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6366553(A) |
申请公布日期 |
1988.03.25 |
| 申请号 |
JP19860212064 |
申请日期 |
1986.09.09 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
KIKUCHI TETSUO;NAKAGAWA MASAHIRO;MATSUMOTO KOICHI |
| 分类号 |
G03B27/54;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01S3/101 |
主分类号 |
G03B27/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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