| 发明名称 |
PROJECTION EXPOSURE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6356917(A) |
申请公布日期 |
1988.03.11 |
| 申请号 |
JP19860202275 |
申请日期 |
1986.08.28 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
ENDO KAZUMASA;MATSUMOTO YASUHISA |
| 分类号 |
G01B11/00;G03B27/32;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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