| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN TRANSPARENT OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6353275(A) |
申请公布日期 |
1988.03.07 |
| 申请号 |
JP19860299562 |
申请日期 |
1986.12.15 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
UNUMA HIDEO;SOTOOKA KAZUHIKO;SUZUKI YOSHIKAZU |
| 分类号 |
C03C17/25;C01G41/02;C23C18/00;C23C18/12 |
主分类号 |
C03C17/25 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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