Process for manufacturing targets for cathodic sputtering.

摘要

Es wird ein Verfahren zur Herstellung hochreiner, mechanisch stabiler Targets beschrieben, die spröde Phasen im Gleichgewichtszustand enthalten. Dazu wird zuerst ein poröser Körper aus einem Teil der höherschmelzenden Komponente hergestellt und mit dem Rest der Komponentenzusammensetzung getränkt. Dabei muß die Zusammensetzung des Tränkmaterials so gewählt werden, daß dürch die Reaktion zwischen Tränkmaterial und porösem Körper keine tieferschmelzenden Phasenanteile entstehen.