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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6342140(A) 申请公布日期 1988.02.23
申请号 JP19860186309 申请日期 1986.08.08
申请人 NEC CORP 发明人 YONENAKA KAZUHISA
分类号 G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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