发明名称 MEASURING METHOD OF CHANNEL LENGTH OF MOSFET
摘要
申请公布号 JPS639944(A) 申请公布日期 1988.01.16
申请号 JP19860153717 申请日期 1986.06.30
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NISHITANI AKITO;ANZAI KENJI
分类号 H01L21/66;G01R31/26;H01L29/78 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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