发明名称 METHOD FOR PATTERNING ELECTRICALLY CONDUCTIVE FILM
摘要
申请公布号 JPS63488(A) 申请公布日期 1988.01.05
申请号 JP19860142303 申请日期 1986.06.18
申请人 DAICEL CHEM IND LTD 发明人 USHIDA HIROAKI;SUGATA MASAYUKI;OGAWA SHOICHI
分类号 C23F1/00;H01B5/14;H01B13/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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