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发明名称 Laser etching process
摘要
申请公布号 GB2189747(A) 申请公布日期 1987.11.04
申请号 GB19860009772 申请日期 1986.04.22
申请人 STC PLC (INCORPORATED IN UK) 发明人 ROLF S
分类号 G03F7/42;H01L21/268;H01L21/311;(IPC1-7):B44C1/22 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
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